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微傳感器是一種基于半導(dǎo)體工藝技術(shù)的新一代傳感器器件，它應(yīng)用新的工作機(jī)制和物化效應(yīng)，采用與標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝兼容的材料，用微細(xì)加工技術(shù)制備的。微傳感器因其微型化、智能化、低功耗、易集成的特點而越來越受到青睞。

分類
微傳感器的分類：
  • 根據(jù)是否有能源供應(yīng)，可以分為有源微傳感器（例如：壓電）和無源微傳感器（例如：熒光）
  • 根據(jù)微傳感器所能測量的對象不同，還可以分為如下九類：
  • 機(jī)械微傳感器：用于力、形變、位移和速度等測量的微傳感器。
  • 電學(xué)微傳感器：用于電流、電位、電阻和電容等測量的微傳感器。
  • 磁學(xué)微傳感器：用于磁場大小、磁場極性、磁通和磁導(dǎo)率等測量的微傳感器。
  • 熱學(xué)微傳感器：用于溫度、比熱容、熱導(dǎo)率和熱容量等測量的微傳感器。
  • 聲學(xué)微傳感器：用于波幅、相位、偏振和聲譜等測量的微傳感器。
  • 光學(xué)微傳感器：用于光譜、波速、波幅和相位等測量的微傳感器。
  • 輻射微傳感器：用于X射線、紫外線、微波和無線電波等測量的微傳感器。
  • 化學(xué)微傳感器：用于成分、濃度、濕度和PH值等測量的微傳感器。
  • 生物微傳感器：用于荷爾蒙、抗原、醣和生物量等測量的微傳感器。

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